Jos en ihan väärässä ole niin sillä kalvolla joka Canatun pellikkeliin laitetaan toisen toimijan toimesta on suuri merkitys miten pellikkeli kestää käytössä. Mun käsitys on, että CNT itsessään kestää jokin verran käytettävää EUV valonlähdettä, mutta valolähteen tehojen nousujen myötä tarvitaan erillinen pinnoite jota tämä toinen toimittaja tarjoaa. Ja sitä mukaan kun tehot nousevat 1000W niin kalvon ominaisuudet tulevat entistä nopeammin vastaan. Mutta tosiaan, tää on mutuilua.
4 tykkäystä