EUV laitteet käyttää vetyä prosessikaasuna jotta haluttu aallonpituus saadaan aikaiseksi. Plasma yhdistettynä vetyyn saadaan aikaiseksi etcheri joka poistaa ainetta. Olen aika varma, että ilman oikeanlaista pinnotetta CNT:stä ei hirveänä jää jäljelle plasman alla. Vetyähän poltetaan pois Edwardsin toimesta ASML laitteessa jatkuvasti, mutta laitteen luonteen takia vety on aina läsnä.
5 tykkäystä